Equivalent Circuit For RF Flexural Free-Free MEMS Resonators

Mastrangeli, Massimo; Nannini, Andrea; Paci, Dario; Pieri, Francesco

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Equivalent Circuit For RF Flexural Free-Free MEMS Resonators

par Mastrangeli, Massimo

;Nannini, Andrea ;Paci, Dario ;Pieri, Francesco
Référence MSED 2005(4-5 July 2005: Pisa (IT)), Modeling and Simulation of Electronic Devices
Publication Publié, 2005

Abstract de conférence

Titre:	Equivalent Circuit For RF Flexural Free-Free MEMS Resonators
Auteur:	Mastrangeli, Massimo; Nannini, Andrea; Paci, Dario; Pieri, Francesco
Informations sur la publication:	MSED 2005(4-5 July 2005: Pisa (IT)), Modeling and Simulation of Electronic Devices
Statut de publication:	Publié, 2005
Sujet CREF:	Technol. des composantes électroniques [microélectronique]
	Electronique générale
Mots-clés:	modeling
	RF MEMS
	microfabrication
	distributed parameters
	equivalent circuit
Langue:	Anglais

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