Modeling and characterization of three kinds of MEMS resonators fabricated with a thick polysilicon technology

Paci, Dario; Mastrangeli, Massimo; Nannini, Andrea; Pieri, Francesco

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Modeling and characterization of three kinds of MEMS resonators fabricated with a thick polysilicon technology

par Paci, Dario ;Mastrangeli, Massimo

;Nannini, Andrea ;Pieri, Francesco
Référence Analog integrated circuits and signal processing, 48, page (41-47)
Publication Publié, 2006

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