Modeling and characterization of three kinds of MEMS resonators fabricated with a thick polysilicon technology

Paci, Dario; Mastrangeli, Massimo; Nannini, Andrea; Pieri, Francesco

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Modeling and characterization of three kinds of MEMS resonators fabricated with a thick polysilicon technology

par Paci, Dario ;Mastrangeli, Massimo

;Nannini, Andrea ;Pieri, Francesco
Référence Analog integrated circuits and signal processing, 48, page (41-47)
Publication Publié, 2006

Article révisé par les pairs

Titre:	Modeling and characterization of three kinds of MEMS resonators fabricated with a thick polysilicon technology
Auteur:	Paci, Dario; Mastrangeli, Massimo; Nannini, Andrea; Pieri, Francesco
Informations sur la publication:	Analog integrated circuits and signal processing, 48, page (41-47)
Statut de publication:	Publié, 2006
Sujet CREF:	Semi-conducteurs
	Technol. des composantes électroniques [microélectronique]
	Capteurs et périphériques
Mots-clés:	Modeling
	RF
	resonators
	MEMS
	modes
	measurement
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0925-1030

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