Equivalent circuit for RF flexural free-free MEMS resonators

Mastrangeli, Massimo; Nannini, Andrea; Paci, Dario; Pieri, Francesco

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Equivalent circuit for RF flexural free-free MEMS resonators

par Mastrangeli, Massimo

;Nannini, Andrea ;Paci, Dario ;Pieri, Francesco
Référence Journal of Computational Electronics, 5, page (205-210)
Publication Publié, 2006

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