Equivalent circuit for RF flexural free-free MEMS resonators

Mastrangeli, Massimo; Nannini, Andrea; Paci, Dario; Pieri, Francesco

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Equivalent circuit for RF flexural free-free MEMS resonators

par Mastrangeli, Massimo

;Nannini, Andrea ;Paci, Dario ;Pieri, Francesco
Référence Journal of Computational Electronics, 5, page (205-210)
Publication Publié, 2006

Article révisé par les pairs

Titre:	Equivalent circuit for RF flexural free-free MEMS resonators
Auteur:	Mastrangeli, Massimo; Nannini, Andrea; Paci, Dario; Pieri, Francesco
Informations sur la publication:	Journal of Computational Electronics, 5, page (205-210)
Statut de publication:	Publié, 2006
Sujet CREF:	Semi-conducteurs
	Electronique générale
Mots-clés:	modeling
	RF
	resonators
	MEMS
	distributed parameters
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:1569-8025

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