Article révisé par les pairs
Titre :
  • Characterization of magnetron sputtered carbon nitride films
Auteur : Kulisch, Wilhelm ; Delplancke, Marie-Paule ; Bulir, Jiri ; Jelinek, Miroslav ; Jurek, Karel ; Zemek, Josef ; Klimovič, Josef
Informations sur la publication : Diamond and related materials, 8, 6, (page 1039-1045)
Statut de publication : Publié, 1999-06
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : Carbon nitride
Compositional analysis
Sputtering
Structural analysis
Note : SCOPUS: ar.j
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0925-9635