• Citer

Characterization of magnetron sputtered carbon nitride films

par Kulisch, Wilhelm;Delplancke, Marie-Paule ;Bulir, Jiri ;Jelinek, Miroslav;Jurek, Karel;Zemek, Josef;Klimovič, Josef
Référence Diamond and related materials, 8, 6, page (1039-1045)
Publication Publié, 1999-06

Article révisé par les pairs

• Détails

Titre:	Characterization of magnetron sputtered carbon nitride films
Auteur:	Kulisch, Wilhelm; Delplancke, Marie-Paule; Bulir, Jiri; Jelinek, Miroslav; Jurek, Karel; Zemek, Josef; Klimovič, Josef
Informations sur la publication:	Diamond and related materials, 8, 6, page (1039-1045)
Statut de publication:	Publié, 1999-06
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:	Carbon nitride
	Compositional analysis
	Sputtering
	Structural analysis
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0925-9635
	info:scp/0032654602