Article révisé par les pairs
Titre:
  • Characterization of magnetron sputtered carbon nitride films
Auteur:Kulisch, Wilhelm; Delplancke, Marie-Paule; Bulir, Jiri; Jelinek, Miroslav; Jurek, Karel; Zemek, Josef; Klimovič, Josef
Informations sur la publication:Diamond and related materials, 8, 6, page (1039-1045)
Statut de publication:Publié, 1999-06
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:Carbon nitride
Compositional analysis
Sputtering
Structural analysis
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0925-9635
info:scp/0032654602