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Coupled mechanical-electrostatic FE-BE analysis of a shunt capacitive MEMS switch

par Sabariego, R.V.;Gyselinck, Johan ;Dular, Patrick;De Coster, Jean ;Henrotte, F.;Hameyer, Kay
Référence International Symposium on Electric and Magnetic Fields (EMF2003), Aachen, Germany, 6-9 October 2003
Publication Publié, 2003

Publication dans des actes

• Détails

Titre:	Coupled mechanical-electrostatic FE-BE analysis of a shunt capacitive MEMS switch
Auteur:	Sabariego, R.V.; Gyselinck, Johan; Dular, Patrick; De Coster, Jean; Henrotte, F.; Hameyer, Kay
Informations sur la publication:	International Symposium on Electric and Magnetic Fields (EMF2003), Aachen, Germany, 6-9 October 2003
Statut de publication:	Publié, 2003
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	EMF2003
Langue:	Anglais