Titre:
  • Coupled mechanical-electrostatic FE-BE analysis of a shunt capacitive MEMS switch
Auteur:Sabariego, R.V.; Gyselinck, Johan; Dular, Patrick; De Coster, Jean; Henrotte, F.; Hameyer, Kay
Informations sur la publication:Compel, 23, 4, page (876-884)
Statut de publication:Publié, 2004
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0332-1649