Coupled mechanical-electrostatic FE-BE analysis of a shunt capacitive MEMS switch

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;Henrotte, F.;Hameyer, Kay
Référence Compel, 23, 4, page (876-884)
Publication Publié, 2004

Article révisé par les pairs

Titre:	Coupled mechanical-electrostatic FE-BE analysis of a shunt capacitive MEMS switch
Auteur:	Sabariego, R.V.; Gyselinck, Johan; Dular, Patrick; De Coster, Jean; Henrotte, F.; Hameyer, Kay
Informations sur la publication:	Compel, 23, 4, page (876-884)
Statut de publication:	Publié, 2004
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0332-1649

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