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Model for Monte Carlo simulations of reflection electron energy loss spectra applied to Silicon at energies between 300 and 2000 eV

par Pauly, Nicolas ;Tougaard, Sven
Référence Surface and interface analysis, 42, 6-7, page (1100-1104)
Publication Publié, 2010

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Titre:	Model for Monte Carlo simulations of reflection electron energy loss spectra applied to Silicon at energies between 300 and 2000 eV
Auteur:	Pauly, Nicolas; Tougaard, Sven
Informations sur la publication:	Surface and interface analysis, 42, 6-7, page (1100-1104)
Statut de publication:	Publié, 2010
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
	Métrologie
Mots-clés:	Monte carlo
	REELS
	Silicon
Note générale:	SCOPUS: cp.j
	FLWIN
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0142-2421
	info:doi/10.1002/sia.3277
	info:scp/77954281737