Preparation and characterization of boron nitride films deposited by PECVD methods (ICP and ECR microwave).

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Référence Journée "Surfaces et interfaces" de la Société Royale de Chimie(Octobre 1995: Bruxelles), Abstracts
Publication Publié, 1995

Abstract de conférence

Titre:	Preparation and characterization of boron nitride films deposited by PECVD methods (ICP and ECR microwave).
Auteur:	Delplancke, Marie-Paule
Informations sur la publication:	Journée "Surfaces et interfaces" de la Société Royale de Chimie(Octobre 1995: Bruxelles), Abstracts
Statut de publication:	Publié, 1995
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais

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