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Microstructural, chemical and mechanical characterization of Si-O-N amorphous coatings obtained by magnetron sputtering

par Godinho, Vanda ;Fernandez Ramos, C.;Justo, A.;Garcia-Lopez, J;Delplancke, Marie-Paule ;Fernandez Fernandez, Alberto
Référence 4th NanoSpain Workshop (12-15 March 2007: Séville, Espagne)
Publication Non publié, 2007-03

Poster de conférence

• Détails

Titre:	Microstructural, chemical and mechanical characterization of Si-O-N amorphous coatings obtained by magnetron sputtering
Auteur:	Godinho, Vanda; Fernandez Ramos, C.; Justo, A.; Garcia-Lopez, J; Delplancke, Marie-Paule; Fernandez Fernandez, Alberto
Informations sur la publication:	4th NanoSpain Workshop (12-15 March 2007: Séville, Espagne)
Statut de publication:	Non publié, 2007-03
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais