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Cathodic arc evaporation and its applications to thin film synthesis

par Delplancke, Marie-Paule

Publication Publié, 2006

Enseignement: cours, TP, ...

Détails

Titre:	Cathodic arc evaporation and its applications to thin film synthesis
Auteur:	Delplancke, Marie-Paule
Statut de publication:	Publié, 2006
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	Workshop organized in the framework of the NoE EXCELL, Bressanone, Italie, 18-23 Juin 2006, cours invité
Langue:	Anglais

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