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Cathodic arc evaporation and its applications to thin film synthesis

par Delplancke, Marie-Paule

Publication Publié, 2005

Enseignement: cours, TP, ...

Détails

Titre:	Cathodic arc evaporation and its applications to thin film synthesis
Auteur:	Delplancke, Marie-Paule
Statut de publication:	Publié, 2005
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	E-MRS short course ‘Materials Surface Processing (MATSUP): Deposition and Characterization of Surface Coatings and Thin Films.” (May 29-30, 2005, Strasbourg, France), cours invité
Langue:	Anglais

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