Arc cathodique filtré sous vide

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Publication Publié, 2001

Enseignement: cours, TP, ...

Titre:	Arc cathodique filtré sous vide
Auteur:	Delplancke, Marie-Paule
Statut de publication:	Publié, 2001
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	2ème journées d’Etude sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arc pour le Dépôt de Couches Minces, Université Paris-Sud Orsay, 15-16 novembre 2001, Conférence invitée
Langue:	Français

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