Enseignement: cours, TP, ...
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| Auteur: | Delplancke, Marie-Paule |
| Statut de publication: | Publié, 2001 |
| Sujet CREF: | Sciences de l'ingénieur |
| Note générale: | 2ème journées d’Etude sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arc pour le Dépôt de Couches Minces, Université Paris-Sud Orsay, 15-16 novembre 2001, Conférence invitée |
| Langue: | Français |
