Deposition and characterization of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films

Kulisch, Wilhelm; Popov, Cyril; Zambov, Ludmil; Ivanov, Borislav; Jelinek, Miroslav; Lancok, Ján; Bulir, Jiri; Delplancke, Marie-Paule

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Deposition and characterization of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films

par Kulisch, Wilhelm ;Popov, Cyril ;Zambov, Ludmil ;Ivanov, Borislav ;Jelinek, Miroslav ;Lancok, Ján ;Bulir, Jiri

;Delplancke, Marie-Paule

Référence 7th International Conference on Plasma Surface Engineering(September 2000: Garmisch-Partenkirchen, Germany), Proceedings
Publication Publié, 2000

Publication dans des actes

Détails

Titre:	Deposition and characterization of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films
Auteur:	Kulisch, Wilhelm; Popov, Cyril; Zambov, Ludmil; Ivanov, Borislav; Jelinek, Miroslav; Lancok, Ján; Bulir, Jiri; Delplancke, Marie-Paule
Informations sur la publication:	7th International Conference on Plasma Surface Engineering(September 2000: Garmisch-Partenkirchen, Germany), Proceedings
Statut de publication:	Publié, 2000
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais

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