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Deposition of nitrogen-rich CNx films with inductively coupled plasma CVD and pulsed laser ablation

par Bulir, Jiri ;Delplancke, Marie-Paule ;Lancok, Ján;Jelinek, Miroslav;Popov, Cyril;Klett, A.;Kulisch, Wilhelm
Référence 7th International Conference on New Diamond Science and Technology(July 2000: Hong Kong), Proceedings
Publication Publié, 2000

Publication dans des actes

• Détails

Titre:	Deposition of nitrogen-rich CNx films with inductively coupled plasma CVD and pulsed laser ablation
Auteur:	Bulir, Jiri; Delplancke, Marie-Paule; Lancok, Ján; Jelinek, Miroslav; Popov, Cyril; Klett, A.; Kulisch, Wilhelm
Informations sur la publication:	7th International Conference on New Diamond Science and Technology(July 2000: Hong Kong), Proceedings
Statut de publication:	Publié, 2000
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais