par Ye, Min ;Delplancke, Marie-Paule
Référence Diamond’99(Septembre, 1999: Pragues), Proceedings
Publication Publié, 1999
Publication dans des actes
Titre:
  • Formation of cubic boron nitride thin films using ECR plasma enhanced CVD
Auteur:Ye, Min; Delplancke, Marie-Paule
Informations sur la publication:Diamond’99(Septembre, 1999: Pragues), Proceedings
Statut de publication:Publié, 1999
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Langue:Anglais