• Citer

Analysis of gaseous species during plasma enhanced chemical vapour deposition of boron nitride thin films

par Delplancke, Marie-Paule ;Roland, P.;Winand, René
Référence 40th National AVS Symposium & Topical Conferences(Novembre, 1993: Orlando, USA), Proceedings
Publication Publié, 1993

Publication dans des actes

• Détails

Titre:	Analysis of gaseous species during plasma enhanced chemical vapour deposition of boron nitride thin films
Auteur:	Delplancke, Marie-Paule; Roland, P.; Winand, René
Informations sur la publication:	40th National AVS Symposium & Topical Conferences(Novembre, 1993: Orlando, USA), Proceedings
Statut de publication:	Publié, 1993
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais