Characterization of a-SiC:H thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition

Delplancke, Marie-Paule; Powers, James M.; Somorjai, Gabor A.

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Characterization of a-SiC:H thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition

par Delplancke, Marie-Paule

;Powers, James M.;Somorjai, Gabor A.
Référence 8e Colloque International sur les Procédés Plasma(Juin 1991: Antibes-Juan les Pins, France), Proceedings
Publication Publié, 1991

Publication dans des actes

Détails

Titre:	Characterization of a-SiC:H thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition
Auteur:	Delplancke, Marie-Paule; Powers, James M.; Somorjai, Gabor A.
Informations sur la publication:	8e Colloque International sur les Procédés Plasma(Juin 1991: Antibes-Juan les Pins, France), Proceedings
Statut de publication:	Publié, 1991
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais

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