Engineering properties of superhard films with ion energy and post-deposition processing

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Référence AIP Conference Proceedings, 680, page (630-634)
Publication Publié, 2003

Article révisé par les pairs

Titre:	Engineering properties of superhard films with ion energy and post-deposition processing
Auteur:	Monteiro, Othon Rego; Delplancke, Marie-Paule
Informations sur la publication:	AIP Conference Proceedings, 680, page (630-634)
Statut de publication:	Publié, 2003
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	SCOPUS: cp.p
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0094-243X
	info:doi/10.1063/1.1619795
	info:scp/84908353632

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