Preparation and characterization of amorphous SiC:H thin films

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;Powers, James M.;Vandentop, G. J.;Salmeron, Miquel J.;Somorjai, Gabor A.
Référence Journal of vacuum science & technology, 9, 3, page (450-455)
Publication Publié, 1991

Article révisé par les pairs

Fichier(s) numérisé(s) par les Bibliothèques de l'ULB

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