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Physical properties of nitrogenated amorphous carbon films produced by ion-beam-assisted deposition

par Rossi, François;André, Bernard;Van Veen, Anton Tom;Mijnarends, Peter E.;Schut, Henk;Labohm, Freek;Delplancke, Marie-Paule ;Dunlop, Hugh;Anger, Eric
Référence Thin solid films, 253, 1-2, page (85-89)
Publication Publié, 1994-12

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Titre:	Physical properties of nitrogenated amorphous carbon films produced by ion-beam-assisted deposition
Auteur:	Rossi, François; André, Bernard; Van Veen, Anton Tom; Mijnarends, Peter E.; Schut, Henk; Labohm, Freek; Delplancke, Marie-Paule; Dunlop, Hugh; Anger, Eric
Informations sur la publication:	Thin solid films, 253, 1-2, page (85-89)
Statut de publication:	Publié, 1994-12
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:	Carbon
	Deposition process
	Ion bombardment
	Physical vapour deposition
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0040-6090
	info:doi/10.1016/0040-6090(94)90299-2
	info:scp/0028732662