par Kiel, Friedbald ;Cotarelo, Maria Sol ;Delplancke, Marie-Paule ;Winand, René
Référence Thin solid films, 270, 1-2, page (118-123)
Publication Publié, 1995-12
Article révisé par les pairs
Titre:
  • Comparison of the properties of BN films synthesized by inductively coupled r.f. and microwave plasmas
Auteur:Kiel, Friedbald; Cotarelo, Maria Sol; Delplancke, Marie-Paule; Winand, René
Informations sur la publication:Thin solid films, 270, 1-2, page (118-123)
Statut de publication:Publié, 1995-12
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:Adhesion
Boron nitride
Optical spectroscopy
Plasma processing and deposition
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0040-6090
info:doi/10.1016/0040-6090(95)06909-7
info:scp/0029485320
VX-005847

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