Formation of cubic boron nitride thin films using ECR plasma enhanced CVD

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Référence Diamond and related materials, 9, 7, page (1336-1341)
Publication Publié, 2000

Article révisé par les pairs

Titre:	Formation of cubic boron nitride thin films using ECR plasma enhanced CVD
Auteur:	Ye, Min; Delplancke, Marie-Paule
Informations sur la publication:	Diamond and related materials, 9, 7, page (1336-1341)
Statut de publication:	Publié, 2000
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:	Adhesion
	Cubic boron nitride
	Deposition
	Surface roughness
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0925-9635
	info:doi/10.1016/S0925-9635(00)00257-0
	info:pii/S0925963500002570
	info:scp/0033686090
	VX-005852

Référencement	Visibilité	Pérennité	Facilité
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