par Ye, Min ;Delplancke, Marie-Paule
Référence Diamond and related materials, 9, 7, page (1336-1341)
Publication Publié, 2000
Article révisé par les pairs
Titre:
  • Formation of cubic boron nitride thin films using ECR plasma enhanced CVD
Auteur:Ye, Min; Delplancke, Marie-Paule
Informations sur la publication:Diamond and related materials, 9, 7, page (1336-1341)
Statut de publication:Publié, 2000
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:Adhesion
Cubic boron nitride
Deposition
Surface roughness
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0925-9635
info:doi/10.1016/S0925-9635(00)00257-0
info:pii/S0925963500002570
info:scp/0033686090
VX-005852

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