par Delplancke, Marie-Paule ;Monteiro, Othon Rego
Référence Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, 15, 4, page (1943-1950)
Publication Publié, 1997-07
Article révisé par les pairs
Titre:
  • Deposition of titanium carbide films from mixed carbon and titanium plasma streams
Auteur:Delplancke, Marie-Paule; Monteiro, Othon Rego
Informations sur la publication:Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, 15, 4, page (1943-1950)
Statut de publication:Publié, 1997-07
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0734-2101
info:doi/10.1116/1.580663
info:scp/0031187016
VX-005830

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