Titre:
  • Application-relevant characterization of magnetron-sputtered carbon nitride films
Auteur:Jelinek, Miroslav; Kulisch, Wilhelm; Delplancke, Marie-Paule; Vorlíček, Vladimír; Studnička, Václav; Chvostová, Dagmar; Trchová, Miroslava; Sobota, Jaroslav
Informations sur la publication:Diamond and related materials, 8, 10, page (1857-1862)
Statut de publication:Publié, 1999-10
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:Carbon films
Film characterization
Magnetron sputtering
Nitrides
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0925-9635
info:doi/10.1016/S0925-9635(99)00145-4
info:scp/0032670087
VX-005844