Inductively coupled plasma and laser-induced chemical vapour deposition of thin carbon nitride films
par Popov, Cyril;Bulir, Jiri ;Ivanov, Borislav;Delplancke, Marie-Paule ;Kulisch, Wilhelm
Référence Surface & coatings technology, 116-119, page (261-268)
Publication Publié, 1999-09
Référence Surface & coatings technology, 116-119, page (261-268)
Publication Publié, 1999-09
Article révisé par les pairs