Inductively coupled plasma and laser-induced chemical vapour deposition of thin carbon nitride films
par Popov, Cyril;Bulir, Jiri
;Ivanov, Borislav;Delplancke, Marie-Paule
;Kulisch, Wilhelm
Référence Surface & coatings technology, 116-119, page (261-268)
Publication Publié, 1999-09
![](/vufind/images/ULB/publications_list.png)
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Référence Surface & coatings technology, 116-119, page (261-268)
Publication Publié, 1999-09
Article révisé par les pairs