Article révisé par les pairs
Titre:
  • Mechanical and optical properties of CNx films with high N/C ratio
Auteur:Jelinek, Miroslav; Kulisch, Wilhelm; Delplancke, Marie-Paule; Lancok, Ján; Jastrabík, L.; Chvostová, Dagmar; Popov, Cyril; Bulir, Jiri
Informations sur la publication:Applied physics. A, Materials science & processing, 73, 2, page (167-170)
Statut de publication:Publié, 2001
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0947-8396
info:doi/10.1007/s003390100849
info:scp/0034896905
VX-005854