par Delplancke, Marie-Paule ;Ye, Min
Référence Key engineering materials, 206-213, I, page (471-474)
Publication Publié, 2001
Référence Key engineering materials, 206-213, I, page (471-474)
Publication Publié, 2001
Article révisé par les pairs
Titre: |
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Auteur: | Delplancke, Marie-Paule; Ye, Min |
Informations sur la publication: | Key engineering materials, 206-213, I, page (471-474) |
Statut de publication: | Publié, 2001 |
Sujet CREF: | Sciences de l'ingénieur |
Mots-clés: | Cubic boron nitride |
ECR-PECVD | |
Superhard material | |
Thin film | |
Note générale: | SCOPUS: cp.k |
Langue: | Anglais |
Identificateurs: | urn:issn:1013-9826 |
info:scp/0034783046 |