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Procédé de nettoyage par plasma de la surface d'un matériau enduit d'une substance organique, et installation de mise en oeuvre

par Silberberg, Eric ;Michel, Eric ;Reniers, François ;Buess Herman, Claudine
Publication Publié, 2002

Brevet

• Détails

Titre:	Procédé de nettoyage par plasma de la surface d'un matériau enduit d'une substance organique, et installation de mise en oeuvre
Auteur:	Silberberg, Eric; Michel, Eric; Reniers, François; Buess Herman, Claudine
Statut de publication:	Publié, 2002
Sujet CREF:	Chimie analytique
	Chimie des surfaces et des interfaces
Langue:	Français
Identificateurs:	FR 02 02057