Composition and structure of reactively sputter-deposited molybdenum-carbon films

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Référence Thin solid films, 287, page (25-31)
Publication Publié, 1996

Article révisé par les pairs

Titre:	Composition and structure of reactively sputter-deposited molybdenum-carbon films
Auteur:	Kacim, Sadi; Binst, Lucien; Reniers, François; Bouillon, Florent
Informations sur la publication:	Thin solid films, 287, page (25-31)
Statut de publication:	Publié, 1996
Sujet CREF:	Chimie analytique
	Chimie des surfaces et des interfaces
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0040-6090

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