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Computer simulation of low-energy sputtering in the binary collision approximation

par Hou, Marc ;Robinson, Mark T.
Référence Applied Physics A, 18, 4, page (381-389)
Publication Publié, 1979-04

Article révisé par les pairs

• Détails

Titre:	Computer simulation of low-energy sputtering in the binary collision approximation
Auteur:	Hou, Marc; Robinson, Mark T.
Informations sur la publication:	Applied Physics A, 18, 4, page (381-389)
Statut de publication:	Publié, 1979-04
Sujet CREF:	Physique
Mots-clés:	79.20
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0947-8396
	info:doi/10.1007/BF00899692
	info:scp/0018456893
	mho-0010