Dielectric barrier discharge plasma reactor and method for plasma-enhanced vapor deposition

Remy, Antoine; Reniers, François

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Dielectric barrier discharge plasma reactor and method for plasma-enhanced vapor deposition

par Remy, Antoine

;Reniers, François

Publication Publié, 2019-07-19

Brevet

Détails

Titre:	Dielectric barrier discharge plasma reactor and method for plasma-enhanced vapor deposition
Auteur:	Remy, Antoine; Reniers, François
Statut de publication:	Publié, 2019-07-19
Sujet CREF:	Sciences exactes et naturelles
	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais

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