CMOS-compatible silicon nitride spectrometers for lab-on-a-chip spectral sensing

Ryckeboer, Eva M.P.; Nie, Xiaomin; Subramanian, Ananth Z.; Martens, Daan; Bienstman, Peter; Clemmen, Stéphane; Severini, Simone; Jansen, Rob; Roelkens, Gunther; Baets, Roel G.

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CMOS-compatible silicon nitride spectrometers for lab-on-a-chip spectral sensing

par Ryckeboer, Eva M.P.;Nie, Xiaomin ;Subramanian, Ananth Z.;Martens, Daan ;Bienstman, Peter ;Clemmen, Stéphane

;Severini, Simone ;Jansen, Rob ;Roelkens, Gunther ;Baets, Roel G.
Référence Silicon Photonics and Photonic Integrated Circuits V, page (98911)
Publication Publié, 2016

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