Atomic layer deposited second order nonlinear optical metamaterial for back-end integration with CMOS-compatible nanophotonic circuitry

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;Detavernier, Christophe ;Baets, Roel
Référence Optics Letters, 40, page (5371)
Publication Publié, 2015-01-01

Article révisé par les pairs

Titre:	Atomic layer deposited second order nonlinear optical metamaterial for back-end integration with CMOS-compatible nanophotonic circuitry
Auteur:	Clemmen, Stéphane; Hermans, Artur; Solano, Eduardo; Dendooven, Jolien; Koskinen, Kalle; Kauranen, Martti; Brainis, Edouard; Detavernier, Christophe; Baets, Roel
Informations sur la publication:	Optics Letters, 40, page (5371)
Statut de publication:	Publié, 2015-01-01
Sujet CREF:	Technologie des autres industries
Langue:	Français
Identificateurs:	urn:issn:0146-9592

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