par Hubert, Julie ;Mertens, Jeremy ;Dufour, Thierry ;Vandencasteele, Nicolas ;Reniers, François ;Viville, Pascal;Lazzaroni, Roberto;Raes, Marc H W M.;Terryn, Herman
Référence Journal of materials research, 30, 21, page (3177-3191)
Publication Publié, 2015-09
Référence Journal of materials research, 30, 21, page (3177-3191)
Publication Publié, 2015-09
Article révisé par les pairs
Titre: |
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Auteur: | Hubert, Julie; Mertens, Jeremy; Dufour, Thierry; Vandencasteele, Nicolas; Reniers, François; Viville, Pascal; Lazzaroni, Roberto; Raes, Marc H W M.; Terryn, Herman |
Informations sur la publication: | Journal of materials research, 30, 21, page (3177-3191) |
Statut de publication: | Publié, 2015-09 |
Sujet CREF: | Physique de l'état condense [supraconducteur] |
Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.] | |
Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.] | |
Mécanique sectorielle | |
Métallurgie et mines | |
Technologie des autres industries | |
Mots-clés: | plasma-enhanced CVD (PECVD) |
polymer | |
surface chemistry | |
Note générale: | SCOPUS: ar.j |
Langue: | Anglais |
Identificateurs: | urn:issn:0884-2914 |
info:doi/10.1557/jmr.2015.279 | |
info:pii/S0884291415002794 | |
info:scp/84949318685 |