par Hubert, Julie 
;Mertens, Jeremy ;Dufour, Thierry ;Vandencasteele, Nicolas ;Reniers, François ;Viville, Pascal;Lazzaroni, Roberto;Raes, Marc H W M.;Terryn, Herman
Référence Journal of materials research, 30, 21, page (3177-3191)
Publication Publié, 2015-09
;Mertens, Jeremy ;Dufour, Thierry ;Vandencasteele, Nicolas ;Reniers, François ;Viville, Pascal;Lazzaroni, Roberto;Raes, Marc H W M.;Terryn, Herman Référence Journal of materials research, 30, 21, page (3177-3191)
Publication Publié, 2015-09
Article révisé par les pairs
| Titre: |
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| Auteur: | Hubert, Julie; Mertens, Jeremy; Dufour, Thierry; Vandencasteele, Nicolas; Reniers, François; Viville, Pascal; Lazzaroni, Roberto; Raes, Marc H W M.; Terryn, Herman |
| Informations sur la publication: | Journal of materials research, 30, 21, page (3177-3191) |
| Statut de publication: | Publié, 2015-09 |
| Sujet CREF: | Physique de l'état condense [supraconducteur] |
| Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.] | |
| Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.] | |
| Mécanique sectorielle | |
| Métallurgie et mines | |
| Technologie des autres industries | |
| Mots-clés: | plasma-enhanced CVD (PECVD) |
| polymer | |
| surface chemistry | |
| Note générale: | SCOPUS: ar.j |
| Langue: | Anglais |
| Identificateurs: | urn:issn:0884-2914 |
| info:doi/10.1557/jmr.2015.279 | |
| info:pii/S0884291415002794 | |
| info:scp/84949318685 |
