Thèse de doctorat
| Titre: |
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| Auteur: | Batan, Abdelkrim |
| Promoteur: | Reniers, François |
| Informations sur la publication: | Université libre de Bruxelles, Faculté des sciences, Bruxelles |
| Date de défense: | 2006 |
| Sujet CREF: | Sciences exactes et naturelles |
| Volumes/pages: | 1 v. |
| Mots-clés: | Silicon |
| Silicon nitride | |
| Sputtering (Physics) | |
| Thin films | |
| Silicium | |
| Nitrure de silicium | |
| Pulvérisation cathodiques | |
| Couches minces | |
| Intitulé du diplôme: | Doctorat en Sciences |
| Langue: | Français |
| Anneé académique: | 2005-2006 |
| Identificateurs: | ulbcat.ulb.ac.be:776613 |
