Dépôt de couches minces par plasma froid à pression atmosphérique: application aux dépôts de SiOxCyNzHw et de TiOx

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Promoteur Delplancke, Marie-Paule

Publication Non publié, 2011-12-21

Thèse de doctorat

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Fichier(s) déposé(s) par le docteur

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