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About the influence of double bonds in the APPECVD of acrylate-like precursors: A mass spectrometry study of the plasma phase

par Nisol, Bernard ;Arnoult, Gregory ;Bieber, Thomas ;Reniers, François ;Kakaroglou, Alexandros;De Graeve, Iris;Terryn, Herman ;Van Assche, Gert Van
Référence Plasma processes and polymers, 11, 4, page (335-344)
Publication Publié, 2014

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Titre:	About the influence of double bonds in the APPECVD of acrylate-like precursors: A mass spectrometry study of the plasma phase
Auteur:	Nisol, Bernard; Arnoult, Gregory; Bieber, Thomas; Reniers, François; Kakaroglou, Alexandros; De Graeve, Iris; Terryn, Herman; Van Assche, Gert Van
Informations sur la publication:	Plasma processes and polymers, 11, 4, page (335-344)
Statut de publication:	Publié, 2014
Sujet CREF:	Physique de l'état condense [supraconducteur]
	Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.]
	Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.]
	Métallurgie
Mots-clés:	acrylates
	atmospheric pressure
	mass spectrometry (MS)
	plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
	polymerization
Note générale:	SCOPUS: ar.j
	FLWIN
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:1612-8850
	info:doi/10.1002/ppap.201300176
	info:scp/84898927422