Deposition parameter effects on the composition and the crystalline state of reactively sputtered molybdenum nitride

Référence Surface & coatings technology, 52, 2, page (179-185)
Publication Publié, 1992-04

Article révisé par les pairs

Titre:	Deposition parameter effects on the composition and the crystalline state of reactively sputtered molybdenum nitride
Auteur:	Maoujoud, M.; Binst, Lucien; Delcambe, Pierre; Jardinier, Marcelle; Bouillon, Florent
Informations sur la publication:	Surface & coatings technology, 52, 2, page (179-185)
Statut de publication:	Publié, 1992-04
Sujet CREF:	Physique de l'état condense [supraconducteur]
	Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.]
	Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.]
	Physique des surfaces
	Chimie
	Métallurgie
	Chimie des solides
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0257-8972
	info:pii/025789729290044B
	info:scp/0026851408

Référencement	Visibilité	Pérennité	Facilité
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