par Delplancke, Françoise
Référence Applied optics, 36, 22, page (5388-5395)
Publication Publié, 1997-08
Référence Applied optics, 36, 22, page (5388-5395)
Publication Publié, 1997-08
Article révisé par les pairs
Titre: |
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Auteur: | Delplancke, Françoise |
Informations sur la publication: | Applied optics, 36, 22, page (5388-5395) |
Statut de publication: | Publié, 1997-08 |
Sujet CREF: | Optique |
Physique atomique et moléculaire | |
Mots-clés: | Industrial control |
Mueller matrix | |
Polarimetry | |
Polarization | |
Scatterometry | |
Surface roughness | |
Note générale: | SCOPUS: ar.j |
Langue: | Anglais |
Identificateurs: | urn:issn:0003-6935 |
info:scp/0001517329 |