par Delplancke, Françoise
Référence Applied optics, 36, 22, page (5388-5395)
Publication Publié, 1997-08
Article révisé par les pairs
Titre:
  • Automated high-speed Mueller matrix scatterometer
Auteur:Delplancke, Françoise
Informations sur la publication:Applied optics, 36, 22, page (5388-5395)
Statut de publication:Publié, 1997-08
Sujet CREF:Optique
Physique atomique et moléculaire
Mots-clés:Industrial control
Mueller matrix
Polarimetry
Polarization
Scatterometry
Surface roughness
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0003-6935
info:scp/0001517329