par Delplancke, Françoise
Référence Applied optics, 36, 30, page (7621-7628)
Publication Publié, 1997-10
Article révisé par les pairs
Titre:
  • Investigation of rough surfaces and transparent birefringent samples with Mueller-matrix scatterometry
Auteur:Delplancke, Françoise
Informations sur la publication:Applied optics, 36, 30, page (7621-7628)
Statut de publication:Publié, 1997-10
Sujet CREF:Optique
Physique atomique et moléculaire
Mots-clés:Generalized ellipsometry
Liquid-crystal device
Mueller matrix
Polarization
Scatterometry
Surface roughness
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0003-6935
info:scp/0542418352