par Delplancke, Françoise
Référence Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3121, page (454-464)
Publication Publié, 1997
Référence Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3121, page (454-464)
Publication Publié, 1997
Article révisé par les pairs
Titre: |
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Auteur: | Delplancke, Françoise |
Informations sur la publication: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3121, page (454-464) |
Statut de publication: | Publié, 1997 |
Sujet CREF: | Informatique appliquée logiciel |
Mathématiques | |
Electronique et électrotechnique | |
Métallurgie | |
Physique de l'état solide | |
Physique de l'état condense [supraconducteur] | |
Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.] | |
Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.] | |
Mots-clés: | Generalized ellipsometry |
Liquid crystal device | |
Mueller matrix | |
Polarization | |
Scatterometry | |
Surface roughness | |
Note générale: | SCOPUS: cp.p |
Langue: | Anglais |
Identificateurs: | urn:issn:0277-786X |
info:doi/10.1117/12.278983 | |
info:scp/0031288926 |