Industrial applications on reflective or translucent samples of a novel, automated Mueller-matrix scatterometer

Référence Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3121, page (454-464)
Publication Publié, 1997

Article révisé par les pairs

Titre:	Industrial applications on reflective or translucent samples of a novel, automated Mueller-matrix scatterometer
Auteur:	Delplancke, Françoise
Informations sur la publication:	Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3121, page (454-464)
Statut de publication:	Publié, 1997
Sujet CREF:	Informatique appliquée logiciel
	Mathématiques
	Electronique et électrotechnique
	Métallurgie
	Physique de l'état solide
	Physique de l'état condense [supraconducteur]
	Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.]
	Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.]
Mots-clés:	Generalized ellipsometry
	Liquid crystal device
	Mueller matrix
	Polarization
	Scatterometry
	Surface roughness
Note générale:	SCOPUS: cp.p
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0277-786X
	info:doi/10.1117/12.278983
	info:scp/0031288926

Référencement	Visibilité	Pérennité	Facilité
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