par Delplancke, Françoise
Référence Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3121, page (454-464)
Publication Publié, 1997
Article révisé par les pairs
Titre:
  • Industrial applications on reflective or translucent samples of a novel, automated Mueller-matrix scatterometer
Auteur:Delplancke, Françoise
Informations sur la publication:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3121, page (454-464)
Statut de publication:Publié, 1997
Sujet CREF:Informatique appliquée logiciel
Mathématiques
Electronique et électrotechnique
Métallurgie
Physique de l'état solide
Physique de l'état condense [supraconducteur]
Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.]
Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.]
Mots-clés:Generalized ellipsometry
Liquid crystal device
Mueller matrix
Polarization
Scatterometry
Surface roughness
Note générale:SCOPUS: cp.p
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0277-786X
info:doi/10.1117/12.278983
info:scp/0031288926