par Mastrangeli, Massimo 
;Martinoli, Alcherio;Brugger, Juergen
Référence Microelectronic engineering, 124, page (1-7)
Publication Publié, 2014
;Martinoli, Alcherio;Brugger, JuergenRéférence Microelectronic engineering, 124, page (1-7)
Publication Publié, 2014
Article révisé par les pairs
| Titre: |
|
| Auteur: | Mastrangeli, Massimo; Martinoli, Alcherio; Brugger, Juergen |
| Informations sur la publication: | Microelectronic engineering, 124, page (1-7) |
| Statut de publication: | Publié, 2014 |
| Sujet CREF: | Chimie des surfaces et des interfaces |
| Technologie de la production | |
| Mots-clés: | SU-8 |
| photolithography | |
| self-assembly | |
| optical tracking | |
| microfabrication | |
| electroplating | |
| Note générale: | SCOPUS: ar.j |
| Langue: | Anglais |
| Identificateurs: | urn:issn:0167-9317 |
| info:doi/10.1016/j.mee.2014.04.017 | |
| info:pii/S0167931714001580 | |
| info:scp/84899838026 |
