par Mastrangeli, Massimo ;Martinoli, Alcherio;Brugger, Juergen
Référence Microelectronic engineering, 124, page (1-7)
Publication Publié, 2014
Référence Microelectronic engineering, 124, page (1-7)
Publication Publié, 2014
Article révisé par les pairs
Titre: |
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Auteur: | Mastrangeli, Massimo; Martinoli, Alcherio; Brugger, Juergen |
Informations sur la publication: | Microelectronic engineering, 124, page (1-7) |
Statut de publication: | Publié, 2014 |
Sujet CREF: | Chimie des surfaces et des interfaces |
Technologie de la production | |
Mots-clés: | SU-8 |
photolithography | |
self-assembly | |
optical tracking | |
microfabrication | |
electroplating | |
Note générale: | SCOPUS: ar.j |
Langue: | Anglais |
Identificateurs: | urn:issn:0167-9317 |
info:doi/10.1016/j.mee.2014.04.017 | |
info:pii/S0167931714001580 | |
info:scp/84899838026 |