par Mastrangeli, Massimo ;Ruythooren, Wouter;Van Hoof, Chris;Celis, J.-P
Référence IEEE transactions on components, packaging, and manufacturing technology, 1, 1, page (133-149)
Publication Publié, 2011
Article révisé par les pairs
Titre:
  • Challenges for capillary self-assembly of microsystems
Auteur:Mastrangeli, Massimo; Ruythooren, Wouter; Van Hoof, Chris; Celis, J.-P
Informations sur la publication:IEEE transactions on components, packaging, and manufacturing technology, 1, 1, page (133-149)
Statut de publication:Publié, 2011
Sujet CREF:Technol. des composantes électroniques [microélectronique]
Chimie des surfaces et des interfaces
Mots-clés:self-assembly
self-alignment
microsystems
capillarity
surface chemistry
failure modes
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:2156-3950