Determination of Young’s modulus of poly-SiGe micromachined structures using novel mechanical actuation test techniques

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;Witvrouw, Ann
Référence Eurosensors 2006(17-20 September 2006: Goteborg (SE)), Eurosensors 2006, page (282-283)
Publication Publié, 2006

Publication dans des actes

Titre:	Determination of Young’s modulus of poly-SiGe micromachined structures using novel mechanical actuation test techniques
Auteur:	Van Barel, Gregory; Modlinski, Robert; Mastrangeli, Massimo; Witvrouw, Ann
Informations sur la publication:	Eurosensors 2006(17-20 September 2006: Goteborg (SE)), Eurosensors 2006, page (282-283)
Statut de publication:	Publié, 2006
Sujet CREF:	Métrologie
	Résistance et comportement des matériaux
	Résistance des matériaux
Mots-clés:	micromachining
	test structures
	poly-SiGe
	characterization
Langue:	Anglais

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