par Van Barel, Gregory;Modlinski, Robert;Mastrangeli, Massimo
;Witvrouw, Ann
Référence Eurosensors 2006(17-20 September 2006: Goteborg (SE)), Eurosensors 2006, page (282-283)
Publication Publié, 2006

Référence Eurosensors 2006(17-20 September 2006: Goteborg (SE)), Eurosensors 2006, page (282-283)
Publication Publié, 2006
Publication dans des actes
Titre: |
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Auteur: | Van Barel, Gregory; Modlinski, Robert; Mastrangeli, Massimo; Witvrouw, Ann |
Informations sur la publication: | Eurosensors 2006(17-20 September 2006: Goteborg (SE)), Eurosensors 2006, page (282-283) |
Statut de publication: | Publié, 2006 |
Sujet CREF: | Métrologie |
Résistance et comportement des matériaux | |
Résistance des matériaux | |
Mots-clés: | micromachining |
test structures | |
poly-SiGe | |
characterization | |
Langue: | Anglais |