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Capillary self-alignment of mesoscopic foil components for sensor-systems-in-foil

par Arutinov, Gari;Smits, Edsger C. P.;Mastrangeli, Massimo ;Van Heck, Gert;Van den Brand, J.;Schoo, H. F. M.;Dietzel, Andreas
Référence Journal of micromechanics and microengineering, 22, page (115022)
Publication Publié, 2012

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Titre:	Capillary self-alignment of mesoscopic foil components for sensor-systems-in-foil
Auteur:	Arutinov, Gari; Smits, Edsger C. P.; Mastrangeli, Massimo; Van Heck, Gert; Van den Brand, J.; Schoo, H. F. M.; Dietzel, Andreas
Informations sur la publication:	Journal of micromechanics and microengineering, 22, page (115022)
Statut de publication:	Publié, 2012
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:	capillarity
	self-alignment
	systems-in-foil
	patterning
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0960-1317