par Mastrangeli, Massimo
;Valsamis, Jean-Baptiste
;Van Hoof, Chris;Celis, J.-P;Lambert, Pierre 
Référence Journal of micromechanics and microengineering, 20, page (075041)
Publication Publié, 2010



Référence Journal of micromechanics and microengineering, 20, page (075041)
Publication Publié, 2010
Article révisé par les pairs