par Mastrangeli, Massimo ;Valsamis, Jean-Baptiste ;Van Hoof, Chris;Celis, J.-P;Lambert, Pierre
Référence Journal of micromechanics and microengineering, 20, page (075041)
Publication Publié, 2010
Référence Journal of micromechanics and microengineering, 20, page (075041)
Publication Publié, 2010
Article révisé par les pairs