par Mastrangeli, Massimo
;Abbasi, Shagayegh;Varel, Cagdas;Van Hoof, Chris;Celis, J.-P;Boehringer, Karl
Référence Journal of micromechanics and microengineering, 19, page (083001)
Publication Publié, 2009

Référence Journal of micromechanics and microengineering, 19, page (083001)
Publication Publié, 2009
Article révisé par les pairs